真空烧结炉热调试方法 　　真空烧结炉以其内部优异的工件处理环境而被用作各种热处理和加热工艺，同时可以做到对外部环境无污染，十分适用于我国现阶段的环保需求，而且通过高度的机电一体化程度，可以做到在温度测控精度提高的基础上，使工件移动、气压功率调节等通过编程进行预先设定。 　　当我们购买真空烧结炉全套设备按技术要求安装完毕后，无缺件并有良好的接地时，正确的调试才能保证接下来的各项使用工作顺利进行，下面随八佳小编一起看看具体的真空炉的热调试方法要怎么做吧。 　　1、在炉子真空度不低于13.3Pa的情况下通电烘炉，在真空烧结炉炉温缓慢升至1300℃的整个过程中，炉子真空度不应低于13.3Pa，经过充分烘烤 ，除气后，压升率达到技术要求时即可。 　　2、极限真空度测量：不低于6×1.0-4Pa。 　　3、工作真空度测量：不低于2.7Pa(在1000空炉时)。 　　4、压升率测量：在真空烧结炉加热至1200℃时，经过充分烘烤除气后，炉温冷却至100℃以下时再测压升率，应达到0.5Pa/h。 　　当冷却室真空度为1.33Pa时，关闭真空烧结炉真空隔热门、冷却室真空阀，并立即向冷却室炉充入氮气0.06MPa时，时间应在 2.5(秒)完成，并且加热室的真空度不得低于670Pa。

　　真空烧结炉结构上要满足哪些要求呢 　　真空烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。为了保证粉末压坯在烧结过程中的脱蜡(润滑剂或成形剂)、还原、合金化、组织转变等顺利进行，烧结时需要对烧结温度、保护气氛、压坯传送方式、加热和冷却速度等进行精确的控制。 　　因此，真空烧结炉在结构上应满足以下要求： 　　(1)具有完善的润滑剂烧除装置(俗称脱蜡带)。 　　(2)具有气密性，即能隔绝炉外空气并保证炉内保护气氛畅通。 　　(3)炉内的各段温度可控，烧结气氛可调。 　　(4)具有快速冷却装置，可将烧结零件快速冷却到出炉温度而不会氧化。 　　真空烧结炉使用的注意事项 　　(1)当使用氢气或分解氨时，要先通入氮气，在确保炉中的空气完全被排出时，才能通电升温，以防止打鸣和爆炸。 　　(2)对钼丝作加热元件的烧结炉，在通电前炉体中应通入保护气体，以防止钼丝氧化而脆断。 　　(3)真空烧结炉炉门及气体排出口应点明火烧除，以防止氧气进入或氢气排出而发生爆炸危险和煤气中毒危险。 　　(4)若电热元件为铁铬铝电阻丝，在升温至1100℃时应停留一段时间(30min左右)再升温，以防止电阻丝表面温度过高而损坏。 　　(5)在升温前和操作中应不时检查气流、水流是否符合要求，以及检查设备、电和炉温的控制仪表是否正常。 　　(6)停炉前应先断电，在炉温降到200℃以下时再停气和停水。 　　(7)除了因维修要停真空烧结炉炉外，要避免频繁停炉。烧结炉的频繁开停，会造成加热元件易于老化，耐火材料易于碎裂，炉内气氛不纯，炉温容易波动等弊端。