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真空烧结炉的主要特点有哪些呢
发布时间:2020-07-27   浏览:1981次

  真空烧结炉的主要特点有哪些呢

  真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结。是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备,它设计构思新颖,操作方便,结构紧凑,在一台设备上可完成多个工艺流程。

  同时,真空烧结炉亦可用于其他领域内的真空热处理,真空钎焊等工艺。设备分为单工位、双工位及多工位。下面我们就看看它的主要特点:

  1、关键件全部采用进口件,具有高可靠性;

  2、真空烧结炉具有可编程的升、降温功能;

  3、具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能;

  4、真空烧结炉具有高抗干扰能力;

  5、真空甩带炉具有多种工艺管路,可供用户随意灵活配置。


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哪些是真空烧结炉的主要优点

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  哪些是真空烧结炉的主要优点   真空烧结炉作为工业用炉,也是耗能的***对象。其热量是由于工件自身产生,该加热方式升温速度快,氧化极少,加热效率高,工艺重复性好,金属表面只有很轻微脱色,轻微抛光就可使表面恢复镜面光亮,从而有效获得恒定一致的材料性能。   真空烧结炉自动化程度高,可实现全自动无人操作,提高劳动生产率。加热均匀,温度控制精度高。这样保证加热工件芯表温差小,通过温度控制系统可对温度进行精确控制,保证产品重复精度。根据加工工件尺寸的不同,需配置不同规格的感应炉体。各炉体均设计有水电快换接头,使炉体更换简便、快速、方便。   真空烧结炉的主要优点是:   (1)有利于排除吸附气体,对促进烧结后期的收缩作用明显。   (2)真空烧结炉有利于硅,铝,镁,钙等杂质或其氧化物的排除,起到提纯材料的作用。   (3)可改善液相烧结的润湿性,有利于烧结过程中的收缩和改善合金的组织结构。   (4)是理想的惰性气氛,当不宜用其他还原性或惰性气体时,或者对容易出现脱碳,渗碳的材料,均可采用真空烧结炉。   (5)真空甩带炉减少气氛中的有害成分(水,氧,氮等)对产品的玷污。例如,电解氢中的含水量要求降至***-40℃较为困难;而真空烧结时,真空度只要在数百Pa就相当于含水量为***-40℃。